i one-stop service
Newtek Gas præsenterer en avanceret PSA (trykvingadsorption) Oxygen Generation System, der specifikt er konstrueret til halvlederproduktionsmiljøer. Denne modulære opløsning leverer 99,5% ultrahøj renhedsoxygen med strømningshastigheder, der spænder fra 5-3000 nm³/h, med intelligente integrationsfunktioner til renrumsoperationer.
Kerne tekniske fordele
Dual-column 13X molecular sieve system achieves >99.999% o₂ renhed
± 0. 5% koncentrationsstabilitet gennem realtids lasergasanalyse
{{0}.
- 30% lavere strømforbrug end konventionelle systemer
- Varmegenvindingssystem reducerer termisk belastning i fantastiske miljøer
- <65dB(A) noise level with acoustic enclosure option
Skalerbar glidemonteret design understøtter 20% -200% kapacitetsudvidelse
Luftkomprimeringsenhed (oliefri rulle-teknologi)
Oprensningstårn (automatisk fjernelse af TSA -fugt)
Smart Control Cabinet (PLC+HMI med SECS/GEM -protokol)
Semiconductor Process Applications
✔ Termisk oxidation
Præcision O₂ Forsyning til gateoxidvækst (2-200 Å tykkelseskontrol)
✔ Tør ætsning
Plasma-stabil gasforsyning til nanoskala mønstring
✔ CVD Chamber Purge
Ultra-tør ilt til forebyggelse af partikelforurening
✔ Wafer annealing
Kontrol med høj renhed atmosfære til dopingmiddelaktivering
Smart overvågningssystem
Real-time urenhedsovervågning (detektion på PPB-niveau)
Forudsigelig vedligeholdelse med AI -algoritme (98% nøjagtighed)
Fjerndiagnostik via IIOT -platform (OPC UA/MTConnect)
Semi f 5-0202 Cleanroom Gas Standards
CE/UL/ETL elektrisk sikkerhedscertificering
ISO 14644-1 Klasse 3 Cleanroom -kompatibilitet
Vi leverer
▲ Globalt teknisk netværk:24/7 flersproget støtte med<4hr response time
▲ Levetidsoptimeringsprogram:Årlig effektivitetsrevision og udskiftningstjeneste for molekylær sigte (1- års garanti)
▲Brugerdefinerede løsninger:Skræddersyet integration med AMHS/MMC -systemer
og design af gasgenvindingssystem
Kontakt vores halvledergaseksperter
📞 + 8615336587300
📧 sales@newtekgas.com
🌐 www.newtekgas.com
Populære tags: Oxygengenerator til halvleder, Kina Oxygen Generator for halvlederproducenter, leverandører
